1. 真空系统：

① 3台真空泵，单台真空泵抽气能力：300m3/h；真空泵极限真空：0.5mbar

② 真空运行及启停时序，当真空泵A、b停机后，下次运行启动真空泵b、c，这样保证3台真空泵互换运行，对真空泵进行保护；

③ 控制柜：真空系统真空度的自动显示监控；控制真空泵自动停运电箱，使此系统具有：当真空低于设定值时自动轮留开启真空泵，当真空达到设定真空值时停止真空泵运行的功能；

④ 真空阀控制部分，该部分有真空泵入口阀和接入口阀组成；真空泵入口，当3台泵中的两台运行，另外一台停机的真空阀关闭；接入口的真空截断阀，同样起到隔离作用；此控制阀由设备提供。

2 .缓冲罐：

① 体积约1.5m3,利于真空存储，

3. 整个系统具有PLC自动控制功能，并有触摸屏实现人机对话功能；