型号

有效区尺寸 (mm)

装炉量 (kg)

加热功率 (kw)

最高温度 (℃)

温度均匀性 (±℃)

极限真空度 (Pa)

压升率 (Pa/h)

气冷压强 (bar)

VGQV-50

Φ350×300

50

50

1320

5

6×10 -4

0.65

6

VGQV-100

Φ450×500

100

100

1320

5

6×10 -4

0.65

6

VGQV-150

Φ600×800

250

150

1320

5

6×10 -4

0.65

6

VGQV-300

φ1000×1000

800

300

1320

5

6×10 -4

0.65

6

VGQV-360

φ1000×1200

1000

360

1320

5

6×10 -4

0.65

6