型号

有效区尺寸 (mm)

装炉量 (kg)

加热功率 (kw)

最高温度 (℃)

温度均匀性 (±℃)

极限真空度 (Pa)

压升率 (Pa/h)

气冷压强 (bar)

VOQ2-45

450×300×300

60

40

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-65

600×400×300

150

65

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-80

700×500×500

250

80

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-100

900×600×450

400

100

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-150

900×600×600

500

150

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-180

1000×800×600

600

180

1320

5

4×10 -1

0.65

2

VOQ2-240

1200×800×800

1200

240

1320

5

4×10 -1

0.65

2