罗茨干式真空泵机组（JGM系列）
技术指标
项目内容 | 性能指标 | ||
型号 | GM-100A | JGM-500A | JGM-1000A |
抽速 | 100m3/h | 480m3/h | 800m3/h |
极限压力 | 10Pa | 2X10-1Pa | 2X10-1Pa |
电源 | 三相 380/220V 50Hz | 三相 380/220V 50Hz | 三相 380/220V 50Hz |
电机功率 | 1.5KW | 3KW | 3.8KW |
转速 | 2865rpm | 2865rpm | 6000rpm |
环境温度 | 5-40 ℃ | 5-40℃ | 5-40 ℃ |
氮气流量 | 0-60slm | 0-60slm | 0-14slm |
最大噪声 | <70db<> | <70db<> | <60db<> |
进气口连接法兰 | KF50 | DN 100 ISO-K | ISO 100 |
排气口连接法兰 | KF40 | KF40 | KF25 |
外型尺寸 | 1030×405×530 (mm) | 1030×405×910 (mm) | 693×280×694 (mm) |
重量 | 255 kg | 380kg | 230kg |
应用领域
主要的应用领域是集成电路、太阳能电池等设备中的无油抽气系统，适用于中度腐蚀工艺和清洁工艺环境，如进样室、传输腔、PVD、硅刻蚀、金属刻蚀、计量、光刻等。
其它的应用领域包括真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理、空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体，化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等。
产品说明
罗茨干式真空泵机组 (JGM系列) 产品特点是无油，可获得清洁的真空环境，可抽除可凝性气体，直接启动、启动快、抽速大、高真空、可实现连续运转，零维护、能耗低、体积小、噪音低。
